陕西省微/纳米系统重点实验室简介
 

西北工业大学“微/纳米系统实验室”成立于1992年,是国内较早开展微机电系统(MEMS)研究的单位之一。实验室以微机电系统技术为核心,以纳机电系统(NEMS)技术为深入方向,以面向航空、航天、航海及国家重大需求的微纳系统及相关技术研究为重点和特色。目前,实验室是面向全国开放的微机电系统研究和人才培养的重要基地,具备国内一流、国际先进研究条件,在微机电系统设计、制造、自主研发方面有雄厚实力。拥有一整套四英寸硅基微加工线,形成了支持硅表面加工、湿法体硅加工、高深宽比干法刻蚀、聚合物基等工艺的微制造平台,拥有自主知识产权的MEMS集成设计平台,拥有光刻机、ICP深刻机、LPCVD、溅射仪、RIE、晶片减薄抛光系统、圆片键合机、扩散炉、划片机、三维表面轮廓仪、探针台、激光多普勒测振仪、动态信号分析仪等贵重微加工及精密检测设备等。


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